壓電微分頭 ║P080S是采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電微調千分尺,是將微分頭與可產生高分辨率納米位移的壓電陶瓷促動器相結合,通過手動調節微分頭可實現13mm或更大范圍的位移,再通過壓電控制器控制壓電促動器實現120μm行程的高分辨率的納米量級的位移,從而達到應用需求的預定位置,壓電促動器使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高分辨、無磨損、免維護等特點,壓電促動器內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電微分頭具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。壓電促動器為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。壓電微分頭體積小、結構緊湊、易于集成。壓電微分頭被廣泛應用于光學元件的微調整、微裝配、顯微光學、納米定位、生物技術、微加工、微操作等領域。
內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。
零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。
◆ 價格實惠的緊湊型定位系統; ◆ 可提供各種行程版本; ◆ 可提供更小外形尺寸版本; ◆ 可定制各種外形結構與安裝方式; ◆ 無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統可實現極高的運動精度; ◆ 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性; ◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。 |
● 納米定位 ● 質量控制 ● 自動化 ● 光學元件的微調 ● 微裝配
|
型號 | P080S | 單位 | 公差 |
主動軸 | X | - | - |
運動和定位 | |||
宏動行程@千分尺 | 13 | mm | typ. |
分辨率@千分尺 | 10 | μm | typ. |
傳感器類型 | SGS | - | - |
壓電最大行程[-20V~+150V] | 120 | μm | ±20% |
壓電標稱行程[0V~+120V] | 100 | μm | ±20% |
壓電開環分辨率 | 1.3 | nm | typ. |
壓電閉環分辨率 | 2 | nm | typ. |
閉環線性度 | 0.05 | %F.S. | typ. |
重復定位精度 | ±5 | nm | typ. |
機械特性 | |||
運動方向剛度 | 0.8 | N/μm | ±20% |
空載諧振頻率 | 560 | Hz | ±20% |
運動方向推/拉力 | 50/10 | N | Max. |
其他 | |||
工作溫度 | -20~80 | ℃ | - |
材質 | 鋁,鋼 | - | - |
外形尺寸 | 48x24x14 | mm | - |
重量 | 0.12 | Kg | ±5% |
線纜長度 | 1.5 | m | ±10mm |
連接器類型 | LEMO│D-Sub9 | - | - |
注:最大驅動電壓為-20V...+150V;長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。 |
?基于無摩擦、高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統,系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。