獨立的轉接件連接顯微鏡和物鏡，可方便的更換物鏡
該壓電物鏡安裝架最大通光孔徑為M32，最大負載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場物鏡。為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過獨立的轉接件連接顯微鏡和物鏡。這種設計使得可在不需要拆下其它組件的情況下拆卸物鏡。轉接件可選螺紋接口。
內置電容式精密位移傳感器，實現亞納米分辨率
壓電物鏡掃描儀內置電容式精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬，在閉環操作時能提供高分辨率，同時主動補償短期和長期漂移。確保納米定位臺具有極佳的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。
無摩擦柔性鉸鏈導向與大行程的杠桿放大結構設計相結合
壓電物鏡掃描臺基于壓電陶瓷復合放大式結構，壓電物鏡掃描儀內部采用高精度的無摩擦柔性鉸鏈導向與大行程的杠桿放大結構設計相結合，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，復合式的柔性導向系統具有超高的導向精度、有效消除側向運動分量，具有高剛性、高動態、大推力、大承載、無摩擦、無磨損、免維護、小體積等特點。
超大通光孔徑支持大視場物鏡，快速釋放彎曲夾允許快速物鏡更換，適配多種物鏡螺紋接口
壓電物鏡支架具有高達 ?30 mm 的通光孔徑和 500 g (1.1 lbs) 的最大負載，可輕松容納多光子和共聚焦顯微鏡中常用的大視場物鏡。為了允許在物鏡之間輕松切換，壓電載物臺通過獨立的適配器連接到顯微鏡和物鏡上，可快速釋放彎曲夾允許快速物鏡更換，這種設計選擇允許在不斷開組件其余部分的情況下移除物鏡。適配器可用于 M32 x 0.75、M27 x 0.75、SM1 (1.035"-40)、M26 x 0.706、M25 x 0.75 和 RMS (0.800"-36) 螺紋。
壓電物鏡定位器專為微調焦距和高速 Z-Stack掃描采集而設計
壓電物鏡定位器專為微調焦距和高速 Z-Stack掃描采集而設計，并且兼容正置、倒置和旋轉顯微鏡。它繞過了傳統顯微鏡中內置的相對較慢的步進電機，它可提供毫秒級典型建立時間實現快速采集和高幀速率，以便快速獲得 3D 體積的掃描。內置電容反饋傳感器可提供亞納米分辨率，從而能夠對短期和長期漂移進行主動補償?？蓱糜诟咚傺訒r和Z-Stack 成像的自動對焦系統、3D 成像的光學切片、微調焦距、掃描干涉儀、表面輪廓測量和分析、半導體和晶圓檢測。
采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電物鏡掃描儀
壓電物鏡掃描器用于精細對焦調節和高速Z軸序列圖像采集，應用于顯微物鏡的大行程納米定位與掃描系統，結構緊湊、易于集成，它兼容多款顯微鏡，它避開了集成在顯微鏡中的相對緩慢的步進電機，從而實現了快速的3D掃描。在三維成像技術、篩選、干涉、計量、自動對焦系統、共聚焦顯微鏡、半導體測試、生物技術等領域得到廣泛應用。
無摩擦零間隙的柔性鉸鏈導向系統帶來高精度的運動導向
壓電物鏡掃描器內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向結構，采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，柔性鉸鏈導向具有高剛性、高負載、無摩擦、無磨損、無需潤滑、免維護等特點。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。
內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹，具有優異的防潮特性，避免漏電流增大造成故障。壓電陶瓷促動器比傳統式壓電促動器的使用壽命更長，性能更穩定，可實現無故障運行1000億個循環。
直接位置測量帶來超高的運動控制精度
位移變化可直接在納米運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現最佳的重復定位精度、優異的穩定性和剛性、快速響應控制。超大行程設計最大可達2000微米，滿足大行程納米定位與掃描系統用戶需求。
可提供適用于復雜真空應用版本
壓電陶瓷納米定位系統中使用的所有部件均非常適合于在真空環境中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。壓電陶瓷納米定位系統可實現極低的排氣率。
采用無磁材質設計制造，不受磁場的影響
壓電物鏡定位器為無磁材質，使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。
納米級電容位移傳感器可達到的精度分辨率是納米級范圍
研生PIEZOXYZ研發生產的納米級電容位移傳感器通過測量使用均勻電場的傳感器探頭和移動目標表面之間的電容的變化，絕對值通過經調整、校準的系統確定，最小距離偏差通過無接觸在長距離基礎上測量，可達到的精度分辨率是納米級范圍，可有效測量最短的距離，高分辨率位移測量中的納米定位應用。通過雙極板電容傳感器測量移動物體最大精度的直接距離和實際位置。無接觸測量高分辨力傳感器具有較高的傳感器帶寬，可滿足動態應用中的閉環控制。
◆ 用于顯微鏡物鏡的快速納米定位器和掃描儀； ◆ 結構緊湊，易于集成，分立式螺紋適配器可實現便捷連接； ◆ 與電機式驅動器相比，具有明顯更快的響應和更長的使用壽命； ◆ 亞納米級分辨率的物鏡精密定位； ◆ 平行柔性鉸鏈導向可實現最小的物鏡偏移； ◆ 零間隙無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統可實現更好的聚焦穩定性； ◆ 內置高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命； ◆ 內置電容式精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇。 | ● 超分辨率顯微鏡 ● 光學圓盤顯微鏡 ● 3D成像 ● 篩選 ● 干涉測量 ● 測量技術 ● 自動聚焦系統 ● 生物技術 ● 半導體測試 |
| 顯微鏡 | |
|---|---|
現代顯微任務要求越來越高的圖像分辨率以及3D圖像掃描系統。除了利用新開發的特殊光學方法（如STED，TIRF...）來獲得在生物學領域越來越多的詳細信息之外，同時包括其他應用方法： ?自動對焦 ?共聚焦顯微鏡和三維成像系統 ?服務于現代研究的定位系統如STED；TIRF；DIC；2光子顯微鏡 ?可集成到幾乎所有的主流顯微鏡的定位系統 |  |
| 型號 | P220C | P221C | P222C | P225C | P228C | P229C［定制］ | 單位 | 公差 |
| 主動軸 | Z | Z | Z | Z | Z | Z | - | - |
| 運動和定位 | ||||||||
| 傳感器類型 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | 電容式 | - | - |
| 開環行程［-20V~+150V］ | 18 | 120 | 320 | 630 | 1250 | 2500 | μm | ±20% |
| 閉環行程［0V~+120V］ | 15 | 100 | 250 | 500 | 1000 | 2000 | μm | ±20% |
| 開環分辨率 | 0.2 | 0.7 | 1.6 | 3.2 | 6.3 | 12.5 | nm | typ. |
| 閉環分辨率 | 0.3 | 1 | 2.5 | 5 | 10 | 20 | nm | typ. |
| 閉環線性度 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | %F.S. | typ. |
| 重復定位精度 | ±2 | ±3 | ±4 | ±5 | ±10 | ±20 | nm | typ. |
| 機械特性 | ||||||||
| 運動方向剛度 | 2.5 | 0.5 | 0.3 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | N/μm | ±20% |
| 空載諧振頻率 | 1150 | 520 | 350 | 260 | 150 | 100 | Hz | ±20% |
| 諧振頻率@80g | 620 | 290 | 210 | 160 | 90 | 60 | Hz | ±20% |
| 運動方向推/拉力 | 100/20 | 100/20 | 100/20 | 100/20 | 100/20 | 100/20 | N | Max. |
| 其他 | ||||||||
| 工作溫度 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | ℃ | - |
| 材質 | 鋼，鋁 | 鋼，鋁 | 鋼，鋁 | 鋼，鋁 | 鋼，鋁 | 鋼，鋁 | - | - |
| 外形尺寸 | 50x50x65 | 50x50x65 | 60x50x65 | 60x50x65 | 80x50x65 | 80x50x65 | mm | - |
| 最大物鏡接口 | M32 | M32 | M32 | M32 | M32 | M32 | - | Max. |
| 最大物鏡重量 | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | g | Max. |
| 重量 | 0.3 | 0.3 | 0.4 | 0.5 | 0.8 | 1 | Kg | ±5% |
| 線纜長度 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | m | ±10mm |
| 連接器類型 | LEMO│D-Sub9 | LEMO│D-Sub9 | LEMO│D-Sub9 | LEMO│D-Sub9 | LEMO│D-Sub9 | LEMO│D-Sub9 | - | - |
| 注：最大驅動電壓為-20V...+150V；長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。 | ||||||||
?基于無摩擦、高精度柔性鉸鏈運動導向的壓電陶瓷納米定位系統，系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。
